1.導向精度高導向精度是指導軌運動軌跡的準確程度，它是導軌副的重要精度指標。運動件的實際運動軌跡與給定方向之間的偏差越小，則導向精度越高。影響導向精度的主要因素有:導軌承導麵的幾何精度、導軌的結構類型、導軌副的接觸精度和表麵粗糙度;導軌和支承件的剛度;導軌的油膜厚度和油膜剛度;導軌和支承件的熱變形等。導軌的幾何精度一般包括導軌在垂直平麵、水平平麵內的直線度和兩條導軌麵間的平行度或兩導軌麵間橫向某長度的扭曲值。
2.移動靈敏度和定位精度均高移動靈敏度(移動分辨率)指工件台完成一次移動能達到的最短距離，定位精度指工件台由運動狀態停止在某一指定點的能力。移動靈敏度和定位精度與導軌的類型、摩擦特性、運動速度、傳動剛度、移動件質量等因素有關。
3.具有低速運動的平穩性低速運動的平穩性，是指導軌在低速運動或微量移動時不發生爬行等不連續運動的現象。它與導軌的結構、導軌副材料匹配、潤滑狀況、潤滑劑性質及導軌運動傳動係統的剛度等因素有關。
4.剛度大導軌受力後的變形將影響部件之間的相對位置和導向精度。剛度對高精度機械和儀器尤為重要。
5.抗振性好杭振性主要是指抗受迫振動的能力和抗自激振動的能力。對於閉環控製係統來說，不僅要求導軌對啟動、製動的跟蹤靈敏度高，還要求它要有適當的粘滯阻尼特性，以防止在啟動、製動過程中發生不穩定現象。
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